• sampul_semikonduktor.jpg

Manfaat Sensor Di Bidang Semikonduktor

Tugas pengukuran dalam industri semikonduktor membutuhkan akurasi dan pengulangan tertinggi. Micro-Epsilon menawarkan solusi yang tepat untuk berbagai aplikasi mulai dari pemosisian alat berat yang tepat dan inspeksi wafer hingga pengukuran topografi.

 

 

Busur dan lengkungan wafer

 

Sensor kromatik confocal  memindai permukaan wafer untuk mendeteksi busur, lungsin, dan distorsi. Memberikan kecepatan pengukuran 70 kHz, pengontrol confocalDT memungkinkan pengukuran yang sangat dinamis, memungkinkan wafer untuk diperiksa dalam waktu siklus pendek.

 

Deteksi dan pengukuran tanda gergaji

 

Untuk deteksi otomatis dan pengukuran tanda gergaji, digunakan sensor kromatis confocal dari Micro-Epsilon. Fitur kompensasi permukaan yang cepat dari pengontrol mengatur siklus paparan untuk mencapai stabilitas sinyal maksimum pada permukaan dengan karakteristik refleksi yang bervariasi. Karena sensor confocal dari Micro-Epsilon dapat mentolerir sudut kemiringan yang besar dan menawarkan titik cahaya yang sangat kecil, mereka dapat mendeteksi tanda gergaji dan lekukan lain pada wafer dengan andal.

 

 

Pengakuan dan pengukuran benjolan pada wafer silikon

 

Sensor perpindahan  kromatik confocal dari Micro-Epsilon digunakan untuk memeriksa benjolan. Mereka menghasilkan titik cahaya kecil ke wafer, sambil secara andal mendeteksi bagian dan struktur terkecil pada resolusi tinggi. Oleh karena itu, bentuk dan dimensi gundukan diukur dengan andal untuk keperluan kontak.

 

 

Penempatan topeng dalam litografi

 

Proses litografi membutuhkan resolusi tinggi dan pengukuran jangka panjang pergerakan alat berat untuk mencapai presisi maksimum. Resolusi tinggi memungkinkan pemosisian topeng yang tepat dengan nanometer menggunakan sensor kapasitif dari Micro-Epsilon. Desain yang sesuai dengan vakum memungkinkan sensor dan kabel digunakan dalam ruang hampa udara sangat tinggi. Sensor yang digunakan Capacitive Sensors capaNCDT 6200 .

 


Produk terkait dengan Manfaat Sensor Di Bidang Semikonduktor